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四氯硅烷分析用氦离子色谱仪

  • 产品名称:四氯硅烷分析用氦离子色谱仪
  • 产品型号:
  • 产品厂商:华爱
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简单介绍
格雷弗工业装备(苏州)有限公司—原厂货源,售后完备,阳光采购,送货上门。四氯硅烷分析氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测,小检测浓度可达5ppb。

四氯硅烷分析用氦离子色谱仪

的详细介绍

格雷弗工业装备(苏州)有限公司,专业销售分析检测仪器,产品种类齐全,有竞争力的产品价格,了解和满足客户需要是我们一切工作的出发点。

四氯硅烷分析氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测,小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器,采用华爱公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统,不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市成果转化A级项目。


硅(SiHCl3)含量(体积分数)/l0-6                                                                    400 25
二氯硅烷(SiH2Cl2)含量(体积分数)/l0-6                                                                    400 25
甲基二氯硅烷(SiCl2CH4)含量(体积分数)/l0-6                                                          200 50
金属元素及其他元素含量 (硼+铝)(B+Al)含量/(μg/kg)                          ≤ —— 0.1
(磷+砷)(P+As)含量/(μg/kg)                      ≤ —— 0.3
镓(Ga)含量/(μg/kg)                            ≤ —— 0.5
锑(Sb)含量/(μg/kg)                               ≤ —— 0.5
铟(In)含量/(μg/kg)                              ≤ —— 0.5
钙(Ca)含量/(μg/kg)                               ≤ 1 0.5
铬(Cr)含量/(μg/kg)                              ≤ 1 0.5
铁(Fe)含量/(μg/kg)                               ≤ 1 0.5
钾(K)含量/(μg/kg)                                ≤ 1 0.5
钠(Na)含量/(μg/kg)                               ≤ 1 0.5
镍(Ni)含量/(μg/kg)                               ≤ 1 0.5
钼(Mo)含量/(μg/kg)                               ≤ 1 0.5
锰(Mn) 含量/(μg/kg)                              ≤ 1 0.5
铜(Cu)含量/(μg/kg)                              ≤ 1 0.5
镉(Cd) 含量/(μg/kg)                              ≤ 1 0.5
钴(Co)含量/(μg/kg)                              ≤ 1 0.5
锌(Zn)含量/(μg/kg)                              ≤ 1 0.5
钒(V)含量/(μg/kg)                                ≤ 1 0.5

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联系人:蒋经理

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